基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计

• 作者: 陈亮 鲍丙豪
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容式压力传感器 Pcap01 TDC 微电容检测技术 微处理器
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2019.03.012

摘要

基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路.该电路以微处理器STM32F103为控制核心, 通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制, 完成电容数据的采集、分析、处理和显示.该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点.通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能.实验结果表明, 电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位, 分辨率可达61 aF.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈亮	江苏大学机械工程学院	26	84	6.0	7.0
2	鲍丙豪	江苏大学机械工程学院	56	287	9.0	13.0