薄膜体声波谐振器的有限元仿真

• 作者: 任家泰 王瑞 白玉慧 陈剑鸣 陈鹏光
• 来源期刊: 软件
• 学科: 工学
• 关键词: 通信技术 薄膜体声波谐振器 有限元 仿真
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 设计研究与应用
• 页码范围: 94-97
• 页数: 4页
• 分类号: TN911
• 字数: 2653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6970.2019.03.018

摘要

随着5G通信技术的日益发展,对通信频段的要求越来越高.传统的射频滤波器受结构和性能的限制,不能满足高频通信的要求.薄膜体声波谐振器(FBAR)作为一种新型的MEMS器件,很好地适应了无线通信系统的更新换代,使FBAR技术成为通信领域的研究热点之一.本文以COMSOL Multiphysics软件为基础,对FBAR谐振元件进行有限元仿真,分析其压电耦合特性、模态特性、谐振特性等.设计的谐振单元,谐振频率在工信部规划的5G通信频段标准(3.4 GHz-3.6 GHz)以内.同时引入完美匹配层(PML)减少寄生共振,更符合实际工艺制备的FBAR的共振特性.实验仿真结果表明,谐振频段在3.510 GHz-3.564 GHz,满足5G通信系统对频段的要求.当谐振位移形式变量满足AlN压电材料的变形范围,计算FBAR的主要性能指标,建立了一种基于COMSOL Multiphysics软件对FBAR的物理结构建模及相关特性研究的实验方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈剑鸣	昆明理工大学理学院	25	47	4.0	6.0
2	王瑞	昆明理工大学理学院	20	37	4.0	5.0
3	陈鹏光	昆明理工大学理学院	11	14	2.0	3.0
4	任家泰	昆明理工大学理学院	3	0	0.0	0.0
5	白玉慧	昆明理工大学理学院	4	2	1.0	1.0