固贴式薄膜体声波传感器的仿真分析

• 作者: 吴永盛 翟成瑞 苏淑靖 袁财源 马晓鑫
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 布拉格反射栅 有限元模型 谐振频率 薄膜体声波
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2356字
• 语种: 中文

摘要

针对布拉格反射栅的特点,选用ta-C作为高声阻抗材料,AlN作为低声阻抗材料.利用COMSOL Multiphysics对布拉格反射栅薄膜体声波传感器(BAW-SMR)建模并对建立的模型进行固体力学和静电学的有限元仿真分析,得到了传感器的谐振频率、不同布拉格反射栅对数下传感器的导纳特性曲线、阻抗特性曲线以及形变位移图.通过对比分析得出当前条件下布拉格反射栅对数为4对时,传感器的阻抗特性曲线平滑,谐振频率为3.258 GHz;当布拉格反射栅对数为3对或5对时,阻抗特性曲线存在寄生谐振.针对存在寄生谐振的传感器,选取具有3对布拉格反射栅的传感器进行优化,通过改变传感器上电极的尺寸和厚度来消除寄生谐振,实现了对寄生谐振峰的有效抑制,为进一步的研究提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏淑靖		4	7	2.0	2.0
2	翟成瑞		3	4	1.0	2.0
3	吴永盛		1	0	0.0	0.0
4	马晓鑫		1	0	0.0	0.0