基于F-P腔的光纤MEMS压力传感器

• 作者: 江毅 赵琴琴
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤传感器 压力传感器 法布里-珀罗干涉 阳极键合
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1326字
• 语种: 中文

摘要

为了满足航天、工业等领域对微型压力传感器的需求,提出了一种基于非本征型法布里-珀罗腔的光纤MEMS压力传感器.该传感器的传感头由硅片、Pyrex7740玻璃经阳极键合制作而成,传感头与光纤准直器采用紫外胶粘合.法布里-珀罗腔的长度随加载压力的增大呈线性减小趋势,从而引起干涉光谱的变化,采用白光干涉解调方法获得法布里-珀罗腔的长度.实验测试结果表明该传感器在0～1 MPa测量范围内压力-腔长灵敏度为5.14μm/MPa,线性度达到0.999;在传感器使用范围0～80℃内,温度灵敏度为2.6 nm/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江毅	北京理工大学光电学院	66	491	12.0	17.0
2	赵琴琴	北京理工大学光电学院	1	0	0.0	0.0