非晶硅银薄膜的飞秒激光辐照研究

• 作者: Ilyas Nasir 宋宇浩 李东阳 李伟 袁余涵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 微结构 飞秒激光 光电性能
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 200-205
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1103002

摘要

采用磁控共溅射方法制备非晶硅银(a-Si∶Ag)薄膜,并对其进行飞秒激光辐照;采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、积分球、半导体性能测试仪等,对辐照前后薄膜的表面形貌、微观结构以及光电性能等进行表征.结果 表明:当辐照能量为300mJ/cm2时,a-Si∶Ag薄膜表面无明显的刻蚀痕迹,薄膜中有纳米晶硅颗粒生成,薄膜中的Ag纳米晶长大;当辐照能量为600 mJ/cm2时,薄膜表面出现明显的刻蚀痕迹,Ag纳米晶进一步长大,然而,产生的纳米晶硅颗粒的尺寸却没有变化;被飞秒激光辐照后,a-Si∶Ag薄膜比辐照前的电阻率更小,同时,薄膜对可见-近红外波段的入射光产生了反射减弱现象.研究结果对基于a-Si∶Ag薄膜的忆阻神经突触器件性能的改善具有积极意义.