解读微机电系统技术在轮机工程中的应用展望

• 作者: 吴学敏
• 来源期刊: 建材发展导向（下）
• 关键词: 微机电系统 轮机工程 应用
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 工作探索
• 页码范围: 101
• 页数: 1页
• 字数: 1544字
• 语种: 中文

摘要

微机电系统也被称为微机械和微电子机械系统,通常微机电系统的结构组件能够达到纳米级别,是一种体积非常小巧的机电装置.微机电系统是一种基于半导体制造的技术,集传感器、 微电源、 微执行系统等为一体的高科技系统,目前在各大新技术产业中广泛地运用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学敏		2	0	0.0	0.0