自动控径单晶炉控温方式的研究

• 作者: 金宁昌
• 来源期刊: 世界有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 热电偶 功率 模拟量
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 综合
• 页码范围: 254-256
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5065.2019.08.149

摘要

中频感应加热单晶炉生长晶体一般采用铱-铱铑热电偶测温,通过3504过程控制器控制电源输出功率实现自动控温,但生产实践中往往出现热偶测温点松动、断裂以及冷点漂移等诸多问题使炉温波动而严重影响生产的进行,本文介绍了采用中频电源功率模拟量控制的方法,能够避免上述情况的发生,有效的提高了晶体的生长质量和效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金宁昌		2	0	0.0	0.0