高温声表面波器件Pt电极的制备研究

• 作者: 尹玉刚 赵广宏 郝文昌 郭伟龙 骆伟
• 来源期刊: 遥测遥控
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 叉指换能器 Pt刻蚀 电感耦合等离子体
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 论文与技术报告
• 页码范围: 32-35,74
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 2018字
• 语种: 中文

摘要

针对高温声表面波(SAW)器件中的Pt电极制备需求,采用电感耦合等离子体干法刻蚀工艺实现Pt电极的干法刻蚀.通过采用纯Ar气源,研究不同ICP功率/RF功率下Pt电极的刻蚀,采用优化的刻蚀参数实现SAW中Pt叉指电极的制备.针对Pt溅射刻蚀中出现的再沉积问题,分析沉积物对电极制备的影响,通过后处理实现沉积物的去除,实现高温SAW器件的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭伟龙		2	0	0.0	0.0
2	赵广宏		5	6	1.0	2.0
3	尹玉刚		2	0	0.0	0.0
4	骆伟		2	6	1.0	2.0
5	郝文昌		1	0	0.0	0.0