基于亚波长光栅结构的硅基液晶器件模型研究

• 作者: 沈川 虞海秀 陶波 韦穗
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 全息视频显示 亚波长金属光栅 法布里-珀罗共振 硅基液晶
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 14-21
• 页数: 8页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.0305001

摘要

金(Au)亚波长光栅被溅射到经典硅基液晶(LCoS)的ITO电极上,它与薄液晶盒和底层铝电极组成复合共振波导结构,简称GLCoS.与基于液晶传播效应的LCoS截然不同,在GLCoS中,上电极的表面等离激元与光栅槽中的TM-FP (TM-Fabry Pérot)共振耦合,诱导一个0阶反射的相位调制;铝(Al)电极既是反射背板又与Au光栅、薄液晶盒组成波导,使共振耦合得到增强.在操控光波阵面的同时,GLCoS也作为电控器件,施加电压改变液晶的折射率,进而控制开腔FP的边缘介质条件,达到有源0～2π相位调制.实验结果表明,本文结构可用于1μm量级像素的相位空间光调制器,在高空间带宽积的全息视频显示中具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦穗		144	2169	23.0	43.0
2	沈川		25	77	5.0	7.0
3	虞海秀		1	0	0.0	0.0
4	陶波		1	0	0.0	0.0