基于蒙特卡罗方法的薄膜表面粗糙度的数值模拟

• 作者: 姜昊辰 张怡南 贾莹 邹斌 陈瀛 鲁韶菲
• 来源期刊: 科技通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜生长 粗糙度 蒙特卡罗方法
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学和化学
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: O411.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13774/j.cnki.kjtb.2020.01.004

摘要

薄膜的表面粗糙度直接影响薄膜的最终性能.本文构建了薄膜的三维生长动力学模型,并采用蒙特卡罗方法实现了薄膜生长的数值模拟,得到了沉积速率、基底温度和原子覆盖度等因素对薄膜表面粗糙度的影响.模拟结果表明:随着沉积速率的增大、基底温度的降低和覆盖度的增大,薄膜的表面粗糙度增大;并且在沉积速率较小时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加迅速,而沉积速率较大时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加缓慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹斌		45	65	3.0	7.0
2	贾莹		5	7	2.0	2.0
3	张怡南		1	0	0.0	0.0
4	姜昊辰		1	0	0.0	0.0
5	鲁韶菲		1	0	0.0	0.0
6	陈瀛		2	0	0.0	0.0