基于BBr3液态硼源的管式扩散设备 研究与开发

• 作者: 姬常晓 赵志然 闫海莲 陈勇平 黄志海
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 液态掺杂源(BBr3) 扩散设备 N型晶硅电池
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2454字
• 语种: 中文

摘要

针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连;优化进出气方式和石英管内压力及气流场控制,提高扩散均匀性;在工艺中增加通水蒸汽功能步,优化反应过程,减少副产物对石英件的腐蚀,降低石英件损耗成本,提高了硼扩散设备的生产效率.为N型晶硅电池硼扩散工艺提供了设备基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0
2	姬常晓	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	0	0.0	0.0
3	黄志海	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	0	0.0	0.0
4	赵志然	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	0	0.0	0.0
5	闫海莲	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	1	1.0	1.0