氧通量对钒氧化物薄膜的可控制备

• 作者: 侯晓轩 孙茂林 宫震 景维军 李子豪 李雨桐 董浩男 马可鑫
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: VOx薄膜 磁控溅射 氧通量
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 化学工程与技术
• 页码范围: 179-182
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2020.03.004

摘要

磁控溅射纯V靶制备钒氧化物VO x薄膜,研究不同氧通量对VO x薄膜x值的调控.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪和霍尔效应仪对薄膜形貌、结构和电学性能进行表征.结果 表明:随着氧通量的增加,钒氧化物形貌由尖角较大颗粒逐渐圆滑缩小团聚,x值由1转变为1.5～2.5之间,最终接近2.5,同时电阻也逐渐增长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宫震		4	0	0.0	0.0
2	孙茂林		2	0	0.0	0.0
3	李雨桐		1	0	0.0	0.0
4	马可鑫		1	0	0.0	0.0
5	董浩男		1	0	0.0	0.0
6	侯晓轩		1	0	0.0	0.0
7	李子豪		1	0	0.0	0.0
8	景维军		1	0	0.0	0.0