硬脆材料皮秒激光微加工试验研究

• 作者: 张朝阳 徐坤 戴学仁 朱浩 赵斗艳
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 皮秒激光 硬脆材料 微结构
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 激光加工及增材制造
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 2882字
• 语种: 中文

摘要

硬脆材料微加工中常存在材料易崩裂、刀具磨损严重、加工效率低等不足,引入超短脉冲激光微加工技术,通过光-热-力效应引发材料去除,可有效克服上述加工难题.以羟基磷灰石生物陶瓷、氧化铝工程陶瓷、单晶硅三种典型硬脆材料为加工对象,探索基于皮秒激光的微加工工艺方法,尝试利用激光干切、液体辅助、化学辅助等不同手段,完成微槽、微孔等结构的高质量加工,并分析微加工表面特征形貌,评估工艺方法可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝阳	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	31	143	7.0	10.0
2	朱浩	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	14	27	3.0	4.0
3	徐坤	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	8	33	2.0	5.0
4	戴学仁	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	4	1	1.0	1.0
5	赵斗艳	江苏大学机械工程学院激光技术研究所	3	0	0.0	0.0