压电谐振器特殊模态振动特性研究

• 作者: 吴校生 李志超 梁天晨
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 压电谐振器 振动模态 品质因数 谐振频率 矢量解析
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.010

摘要

针对压电谐振器振动特性分析的应用需求,构建了一种小型化、廉价的矢量分析系统.系统采用STM32控制4路DDS芯片产生驱动信号和矢量解析正交信号.通过向DDS芯片写频率控制字,对压电谐振器进行扫频驱动.同时采用STM32内置ADC,采样并计算获取各频率点压电谐振器输出信号的幅值和相位.通过提取压电谐振器两个特殊振动模态下的共振频率、品质因数(Q值)、输出信号相位等振动特性参数,获得驱动信号对这些参数的影响规律,系统分析了驱动信号对压电谐振器振动特性的影响,为压电谐振器的驱动、信号检测提供了有效的技术途径,实验结果为压电谐振器振动特性分析提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴校生	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家重点实验室	15	65	4.0	7.0
2	李志超	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家重点实验室	7	2	1.0	1.0
3	梁天晨	上海交通大学微纳电子学系微米纳米加工技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0