电流调制激光自混合光栅干涉位移测量研究

• 作者: 沈锺杰 蔡文魁 赵慧敏 郭冬梅
• 来源期刊: 南京师大学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 激光自混合干涉 光栅干涉仪 位移测量 正弦电流调制 利特罗结构
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 34-39,148
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4616.2020.03.007

摘要

本文提出了一种激光自混合光栅干涉仪.通过利特罗结构设计,光栅衍射光沿入射方向原路返回激光器,和腔内光混合产生激光自混合干涉效应.由于光栅多普勒效应导致干涉相位随光栅沿光栅矢量方向上的位移而改变.为了提高测量的精度,通过正弦调制半导体激光器的驱动电流,调制激光自混合干涉信号的相位,并引入了傅里叶分析的方法解调相位,最终实现了光栅位移的重构.激光自混合干涉的机制和利特罗结构设计保证了整个光学系统的紧凑性和自准直性.实验结果表明,测量系统的位移噪声水平在50 nm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭冬梅		17	60	4.0	7.0
2	蔡文魁		3	0	0.0	0.0
3	沈锺杰		2	0	0.0	0.0
4	赵慧敏		2	0	0.0	0.0