蒸发台e型电子枪的工作原理与维修技术

• 作者: 侯立永 王秀海
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电子枪 镀膜 蒸发台
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 专用设备维护与保养
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3100字
• 语种: 中文

摘要

真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护.从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各类故障,给出了处理方法和步骤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀海	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	30	2.0	5.0
2	侯立永	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0