镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制

• 作者: 伊福廷 刘静 常广才 张伟伟
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线聚焦透镜 LIGA技术 棱镜型透镜 高能X射线
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 724-729
• 页数: 6页
• 分类号: O434.19
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2020.04.003

摘要

组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点.为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键.我们研制了一种棱镜型的高能X射线聚焦组合折射透镜,透镜整体由5280个齿状结构组合而成,最小的特征尺寸为10μm,口径为1.77 mm.利用LIGA技术,成功完成高度为500μm的镍基棱镜型高能X射线组合折射透镜的制备.为保证透镜良好尖角结构,在制备过程中采用电子束直写并且逐步加大掩膜版厚度的方法,先后制备了过渡掩膜版和LIGA掩膜版,保证了透镜良好的形貌,尖角略有钝化.在上海光源X射线成像及生物医学应用光束线(BL13W1)完成了透镜的在线测试,结果表明:该透镜将50 keV的X射线聚焦到7.7μm,增益为14倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘静	中国科学院高能物理研究所	279	2786	26.0	43.0
2	张伟伟	中国科学院高能物理研究所	10	153	6.0	10.0
3	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
4	常广才	中国科学院高能物理研究所	8	5	2.0	2.0