基于物理模型的高功率光学元件中频误差控制算法

• 作者: 杨兆海 程丹
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 物理模型 高功率 光学元件 中频误差 抛光盘 直线度
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 光电技术与应用
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2020.04.120

摘要

高功率光学元件中频误差会拓宽光学元件中央亮斑,导致出现非线性自聚焦现象,提出基于物理模型的高功率光学元件中频误差控制算法,设计物理模型通过粗—精两重控制过程,粗控制端利用双频激光干涉仪,定位高功率光学元件的光束位移;依据定位出的光束位移,通过精控端和粗控端的初始封闭力调整两端抛光盘压电触动器的伸缩量,校正抛光导轨垂直方向直线度误差,控制高功率光学元件中频误差.经过实验分析发现,通过该物理模型控制高功率光学元件中频误差后,中频误差功率谱密度显著降低,元件中频误差峰谷值和均方根数值最低值分别是0.161λ和0.018λ,控制效果好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨兆海		12	34	3.0	5.0
2	程丹		6	1	1.0	1.0