PVP对还原氮化法合成氮化铌薄膜结构与性能影响研究

• 作者: 刘梓君 卢婧 庞绍志 李周昌 王学沛 王聪 石岚天 魏恒勇 魏颖娜
• 来源期刊: 江苏陶瓷
• 关键词: 聚乙烯吡咯烷酮 还原氮化 氮化铌薄膜
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 学术研究
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

本文以五氯化铌为前驱体原料,以无水乙醇为氧供体,首先通过溶胶-凝胶法制备出五氧化二铌溶胶,引入成膜助剂PVP得到镀膜溶液,在石英基片上镀膜制备出前驱体薄膜,利用还原氮化技术合成出氮化铌薄膜.利用XRD、SEM和UV-VIS-NIR和四探针测试仪等测试手段,研究了PVP分子量及其用量对氮化铌薄膜微观结构及性能的影响.结果 表明:当PVP用量为0.5 g,分子量为130万时,薄膜中物相为Nb4N5,薄膜基本无开裂,表面光滑,在250～550 nm范围内有一个明显的透过带,可见光透过率较大,方块电阻为500 Q/口.