大角度倾斜照明条件下的PIE迭代重建算法研究

• 作者: 刘诚 昌成成 朱健强 潘兴臣 陶华
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 相干衍射成像 相位测量 光学传递函数
• 年，卷（期）: 2020,（17）
• 所属期刊栏目: 衍射与光栅
• 页码范围: 28-37
• 页数: 10页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1705001

摘要

提出一种大倾角照明条件下的高精度PIE(ptychographic iterative engine)迭代重建算法.该算法用小角度照明的透射光代替大角度照明的透射光,通过修正角谱传递函数,得到适应大角度迭代的光场传输公式.在非傍轴条件下,该算法能够避免样品面上相位分布欠采样的问题,同时精确计算衍射面上的衍射光斑,为单次曝光PIE成像的进一步发展和实际应用解决了最为关键的技术难题.