电子陶瓷基板表面激光孔加工综述

• 作者: 杨子轩 梅雪松 赵万芹
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 电子陶瓷基板 氧化铝 氮化铝 毫秒激光 纳秒激光 孔
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: “纪念激光器诞生60周年”专题
• 页码范围: 178-193
• 页数: 16页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0500011

摘要

毫秒和纳秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆难加工材料的独特优势,成为加工氧化铝和氮化铝陶瓷的首选,在电子陶瓷基板表面孔的工业化加工中具有不可替代的作用.介绍了毫秒和纳秒激光加工作为电子基板的陶瓷材料的去除机理,如材料烧蚀阈值、光热作用和光化学作用等,讨论了毫秒和纳秒激光加工参数、加工环境等因素对陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直径、深度和锥度等)的影响规律,总结了目前陶瓷基板表面激光孔加工工业化应用面临的问题,并对其未来的发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梅雪松		146	1489	22.0	28.0
2	杨子轩		2	0	0.0	0.0
3	赵万芹		2	0	0.0	0.0