SHJ太阳电池叠层减反结构及光电性能研究

• 作者: 俞健 刘正新 周杰 马忠权
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 叠层减反射 光电特性 低温退火 SHJ电池
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 303-309
• 页数: 7页
• 分类号: TM914.4+2
• 语种: 中文

摘要

创新性提出低温退火下异质结(SHJ)太阳电池的叠层减反射结构.采用等离子体增强化学气相沉积技术在沉积金属电极后的SHJ太阳电池入光面依次沉积SiNx和SiOx薄膜,形成SiOx/SiNx/IWO三层减反射膜,则电极部分为SiOx/SiNx/Ag/IWO的叠层结构,经低温退火银浆穿透表面介电薄膜形成导电通路.结果 表明,SiOx/SiNx/IWO叠层具有优异的光学透过性,并显著降低电池表面反射损失.与单层IWO薄膜相比,厚度分别为90、30、60 nm的SiOx/SiNx/IWO的三层减反射膜使平均反射率下降至5.9％,对应波段外量子效率显著提高,SHJ电池短路电流密度和转换效率分别提高1.22 mA/cm2和0.96％,具有巨大的应用潜力.