硅基压电MEMS球形矢量水听器设计

• 作者: 何剑 李芬 杨翔宇 石树正
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 压电效应 矢量水听器 灵敏度
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 84-86
• 页数: 3页
• 分类号: TP212|TB565.1|TH703
• 字数: 1280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)03-0084-03

摘要

为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器.使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸.采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB =1 V/μPa),固有频率可达到1.6 kHz,具有良好的一维指向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石树正	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	25	29	2.0	4.0
3	何剑	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	21	25	3.0	3.0
4	李芬	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	0	0.0	0.0
7	杨翔宇	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0