四探针法测量薄层电阻方法对比

• 作者: 刘洪山 姚子祥
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针 薄层电阻 电阻率
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 综合:探索与发现
• 页码范围: 245-246
• 页数: 2页
• 分类号: TM93
• 字数: 3057字
• 语种: 中文

摘要

通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洪山	华南农业大学电子工程学院	37	141	7.0	10.0
2	姚子祥	华南农业大学电子工程学院	1	0	0.0	0.0