基于低能离子轰击的亚波长纳米结构制备

• 作者: 刘颖 李金昱 杨高元 洪义麟 蔡茂琦 陈火耀
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光加工 低能离子轰击 光刻胶 自组织纳米结构 熔石英 亚波长结构
• 年，卷（期）: 2020,（17）
• 所属期刊栏目: 快报
• 页码范围: 208-211
• 页数: 4页
• 分类号: O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1736001

摘要

利用低能离子轰击在光刻胶表面诱导产生自组织纳米波纹结构,将其作为掩模,与反应离子束刻蚀技术相结合,在熔石英表面制备了亚波长纳米结构.与直接利用离子轰击产生的纳米结构相比,此方法制备的结构显著提高了自组织纳米结构的振幅和高宽比.这种具有表面亚波长纳米结构的熔石英样品在600～1300 nm波段范围内的透过率约为94％.初步结果显示离子轰击技术在功能性表面纳米结构制备方面极具潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪义麟		56	478	13.0	19.0
2	刘颖		158	3777	30.0	58.0
3	杨高元		1	0	0.0	0.0
4	蔡茂琦		1	0	0.0	0.0
5	李金昱		1	0	0.0	0.0
6	陈火耀		8	8	2.0	2.0