一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法

• 作者: 康燕 武中华 类维政 苏志德 袁吕军
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 相位恢复 相位测量 镜面检测 光学检测 光学制造
• 年，卷（期）: 2020,（13）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 89-95
• 页数: 7页
• 分类号: TB133
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1312003

摘要

在光学镜面相位恢复检测中,由于CCD相机的横向失调和光路中倾斜误差的存在,采集图像会发生错位,影响检测结果的准确性.为了克服光路校准带来的困难,基于快速傅里叶变换图像配准算法以及梯度相位恢复算法,提出了亚像素图像配准相位恢复(SIRPR)算法.通过仿真,验证了该算法对于光路的横向偏移和镜面倾斜具有良好的矫正作用.对一块直径为110 mm的凹面反射镜进行实验测量,并利用SIRPR算法处理含明显错位光斑的光强图,将计算获得的面形结果与干涉仪直接测量的结果进行对比,面形之差的方均根值为0.1047λ(λ为波长),验证了算法的准确性.