电压调制ZnO紫外探测器光响应截止波长的研究

• 作者: 段雨晗 丛明煜 蒋大勇 梁庆成
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 探测器 光电探测器 氧化锌 金属-半导体-金属结构 响应度 截止波长 红移
• 年，卷（期）: 2020,（20）
• 所属期刊栏目: 探测器|Detectors
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2004001

摘要

通过射频磁控溅射技术,成功制备了具有金属-半导体-金属(MSM)结构的ZnO紫外光电探测器.研究了外加偏压对探测器响应度和截止波长的影响.随着偏压的增大,器件的响应度逐渐增加并且趋于饱和,探测器的响应截止波长红移了12 nm.这是电场引起的耗尽层的展宽以及带隙倾斜造成的.提出了一种利用外加偏压控制探测器截止波长的有效方法,该方法对紫外光电探测器的进一步研究和应用具有重要意义.