低温探针台液氮管路保冷设计与应力分析

• 作者: 贾月明 刘路宽 高岳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 低温探针台 液氮管路 保冷设计 应力分析
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 12-14,70
• 页数: 4页
• 分类号: TB66
• 语种: 中文

摘要

对低温探针台液氮管路的保冷结构进行了研究,给出了保冷层厚度的计算方法,应用有限元分析软件对液氮管路进行了热应力分析,为低温探针台液氮管路保冷设计提供了理论依据.