(Mg0.527 Al0.473)(Al1.758 Mg0.126)O4薄膜制备及其沿面耐压性能的研究

• 作者: 刘伟 黎明 杜继实
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: (Mg0.527Al0.473)(Al1.758Mg0.126)O4薄膜 微观结构 粗糙度 沿面电压
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TM215.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.201910030

摘要

采用丝网印刷法在95％(质量比)Al2O3基板上制备MgO薄膜,在大气环境1650℃下烧结使MgO与Al203基板反应形成(Mg0.527Al0473)(Al1758Mg0.12)O4薄膜(MAO).通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪、X射线光电子能谱仪和激光共聚焦显微镜分别对MAO薄膜的结构、微观形貌、成分和表面粗糙度进行了表征.利用沿面耐压测试仪器对比了MAO薄膜与不同粗糙程度Al2O3基板的沿面耐压强度.研究结果表明,该方法制备了纯度较高的MAO薄膜,当沿面绝缘距离为8 mm时,排除表面粗糙度对沿面耐压性能的影响下,MAO薄膜平均沿面耐压强度相比于Al2O3基板有了较大程度提升.