基于PVDF阵列的微结构表面形貌感测方法研究

• 作者: 余震 余静娴 张晨阳
• 来源期刊: 武汉科技大学学报（自然科学版）
• 关键词: PVDF压电薄膜 阵列 微结构 表面形貌 感测 形貌重构 曲线拟合
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 页码范围: 256-261
• 页数: 6页
• 分类号: TF31
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-3644.2021.04.003

摘要

针对光学扫描方法存在的检测设备昂贵、检测时间较长等不足,本文提出了一种基于PVDF压电薄膜阵列的微结构表面形貌感测方法.通过理论分析,得到在利用PVDF阵列检测材料微形貌特征曲线时平均微应变与输出电荷之间的函数关系,构建了微应变输入与电信号输出之间的数学模型,并从PVDF阵列结构的角度,分析了该检测方法产生误差的主要原因.结果表明,本文提出的基于PVDF压电薄膜阵列的微形貌感测方法精度相对较高,能够实现对材料表面形貌特征曲线的表征.