基于纳米颗粒润滑的单点金刚石刀具磨损抑制技术

• 作者: 墨洪磊 郑家洛 兰洁 陈肖 许剑锋
• 来源期刊: 导航与控制
• 关键词: 单晶硅 单点金刚石车削 纳米颗粒润滑 刀具磨损抑制
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺|Materials and Processes
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TH161+.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674⁃5558.2021.02.011

摘要

润滑是单点金刚石车削硬脆材料时的一个非常关键的因素,针对单点金刚石车床超精密加工单晶硅光学零件过程中刀具易磨损、加工精度一致性差等问题,提出了一种单点金刚石刀具磨损抑制技术,通过选用二硫化钼、石墨、铜、氧化铜等纳米颗粒作为润滑剂,在Ф25.4mm单晶硅平片上开展实验研究.结果表明,纳米颗粒的类型和质量分数对车削过程的润滑效果有明显的影响,使用质量分数为10％的纳米石墨颗粒作为润滑剂时,加工后零件表面质量最好.在车削加工5.067km后,单晶硅光学零件表面粗糙度优于25nm,刀具磨损量约5μm,该单点金刚石刀具磨损抑制技术是有效的.