1.5米扫描干涉场曝光系统

• 作者: 姜珊 王玮 刘兆武 李烁 李昱伯 李文昊
• 来源期刊: 科技成果管理与研究
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 创新成果
• 页码范围: 75-77
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1673-6516.2021.01.026

摘要

激光惯性约束核聚变的实现是解决人类能源危机的重要途径之一,作为实现惯性约束核聚变的关键,超强超快脉冲激光的获取是其重点研究与发展的技术领域.目前高功率激光系统中的皮秒输出主要依赖于啁啾脉冲放大系统(Chirped Pulse Amplification,CPA),脉冲压 缩 光 栅(Pulse Compression Gratings,PCG) 是CPA技术中获取高能量短脉冲激光的核心光学元件.依据现阶段所制作光栅的损伤阈值,增大衍射光栅的尺寸成为提高光通量的重要方式.在精密仪器领域,精密位移测量技术的测量精度与量程代表制造水平的高低.光栅位移测量系统以光栅作为量尺,以光栅的栅距为测量基准,光栅刻槽对环境的敏感度低,且不会随测量距离的增加而变大,有效降低了测量对环境的要求.德国、日本等国在该领域具有绝对优势,但是国外的供应商不对中国供应高精度的测量系统与测量光栅元件.