真空共晶炉的改进与提升

• 作者: 霍灼琴 马海亮 张永聪
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 真空共晶炉 温度均匀性 冷却速率 热仿真分析
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研制
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.011

摘要

介绍了真空共晶炉,通过热仿真分析得出提高真空共晶炉温度均匀性的方法,对真空共晶炉进行改进,提高了设备的温度均匀性和冷却速率,并对改进后的设备进行了测试,测试结果满足了设计的要求.