基于双频电源的PECVD沉积设备设计与仿真

• 作者: 龙长林 周立平 陈国钦 龚欣 龚俊 巴赛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 等离子体增强化学气相沉积 双射频电源 调谐控制 电磁场仿真
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备|Semiconductor Manufacturing
• 页码范围: 12-14,66
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.004

摘要

介绍了基于双频电源PECVD沉积设备的电源系统设计,包括系统组成、射频电源的选取和调谐控制等.并对加载不同频率电源的PECVD反应室进行了仿真,一方面基于ANSYS软件的电磁场模块,对低频电磁场进行谐态电路有限元分析,得到反应室内电磁场分布;另一方面基于Ansoft HFSS对高频电磁场进行本征模态分析,得到各阶模态和频率.通过实际应用验证了该方案可靠有效.