极端环境下声表面波压力传感器研究进展

• 作者: 潘虹芝 曹健 齐梦珂 程一民 曹亮 牟笑静
• 来源期刊: 压电与声光
• 关键词: 高温 高压 声表面波 压力传感器
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 页码范围: 306-312
• 页数: 7页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2021.03.003

摘要

声表面波压力传感器因具有无源无线、高精度可编码、易于多参数传感集成等优点,被广泛应用于各种极端环境下的压力测量.该文首先介绍了声表面波压力传感器的工作原理及其技术优势,然后分别介绍了声表面波压力传感器在高温和高压环境下的发展现状,并讨论了该类器件的设计难点及未来发展趋势.