锆表面双辉等离子渗铜工艺研究

• 作者: 王建青 景勤
• 来源期刊: 燕山大学学报
• 关键词: 锆 双辉等离子表面渗镀 渗铜 正交实验
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与化学工程|Material and Chemical Engineering
• 页码范围: 215-219,226
• 页数: 6页
• 分类号: TG146.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-791X.2021.03.004

摘要

对锆表面进行双辉等离子渗铜处理,得到连续的无明显缺陷的渗铜层.设计L9(34)正交实验,依据不同实验条件下的渗铜层厚度,分析得出主要实验因素对渗镀结果影响程度排序为:极间距>时间>温度>气压.综合考虑渗镀过程实际情况及实验对比,给出了锆表面双辉等离子渗铜的较优工艺参数.