电子工业用超纯水设备技术及应用

• 作者: 杜荣东 王建斌 丁同喜
• 来源期刊: 清洗世界
• 关键词: 电子工业 超纯水 技术 应用
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 环保节能
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TU991.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2021.03.032

摘要

超纯水是应用去离子化、反渗透技术、离子交换等技术生产出来的水.针对集成电路生产用水水质要求高的现状,设计开发了超纯水系统,设计采用Make up system+Polisher system组合工艺,制备电阻率>18 MΩ·cm;DO<5 ppb;Particle<1 pcs/ml;Silica<1.5 ppb;TOC<1.5 ppb的超纯水.