中压微波等离子体炬激发过程特征分析

• 作者: 申庆浩 华伟 常颖 黄润 张凯 徐自励
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 关键词: 微波等离子体 中压 趋肤深度 分子离子
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学|Physics
• 页码范围: 137-142
• 页数: 6页
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.19907/j.0490-6756.2021.024003

摘要

本文建立了中压情况下耦合麦克斯韦方程的自洽二维流体等离子体模型,添加了有关分子离子的一系列动力学反应方程,展示了在中压条件下的激发过程中电子密度、温度、电场模值、趋肤深度等参数的变化 .分析了分子离子空间分布的主要原因 .另外与常压微波等离子体对比发现中压微波等离子体气体温度较低,对石英管的损害较小,能够适用于各种废气的处理、纳米颗粒的合成以及薄膜的制备,易于实现大规模化,具有很好的应用前景 .