加工参数对单晶锗表面粗糙度扇形分布的研究

• 作者: 杨晓京 杨红秀 肖建国 李茂忠 康杰
• 来源期刊: 有色金属工程
• 关键词: 单晶锗 粗糙度扇形分布 正交试验 方差分析 极差分析
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 材料制备与加工|Materials Preparing and Processing
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 分类号: O346.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2021.07.007

摘要

单点金刚石车削单晶锗端面时,其表面粗糙度易呈现明暗扇形域相间分布的现象,达不到使用标准,而该现象的出现与加工参数密切相关.通过正交试验,研究了刀尖圆弧半径、切削深度、进给量对单晶锗表面明暗域粗糙度扇形分布的影响.将数据进行方差和极差分析,结果表明:刀尖圆弧半径、切削深度、进给量,对单晶锗表面粗糙度明暗扇形分布都有影响,进给量对其影响显著,而刀尖圆弧半径和切削深度对其影响较显著;刀尖圆弧半径与明暗扇形域粗糙度值成反比,进给量与明暗扇形域粗糙度值成正比;刀尖圆弧半径越小、切削深度越大、进给量越大,暗扇形域面积越大,明扇形域面积越小;将单晶锗表面明暗扇形域用扫描电镜观察,发现明扇形域表面光滑,主要发生塑性去除,暗扇形域出现较多凹坑,主要发生脆性破坏.根据极差分析,针对本试验,选出了一组最优加工方案为A3B1C1,即刀尖圆弧半径为2 mm,切削深度为2μm,进给量为1μm/r.此结果可为实际加工做出一定参考.