硅基微流道高效散热技术在宽带微波收发组件中的应用

• 作者: 向伟玮 张剑 卢茜 李阳阳 董乐
• 来源期刊: 电子与封装
• 关键词: 硅基微流道 高效散热 宽带微波
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性|Microelectronics Fabrication & Reliability
• 页码范围: 99-102
• 页数: 4页
• 分类号: TN454
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0816

摘要

硅基微流道散热技术可以实现每平方厘米数百瓦的高效散热能力.开发了硅基微流道散热器,实现了 600 W/cm2以上的高效散热能力.硅作为半导体材料,会影响微波功率芯片的接地性能.通过对硅基微流道散热器进行整体金属化处理,可使其满足宽带微波收发组件的应用要求.将硅基微流道散热器集成在大功率收发组件中,在2～6 GHz的频率范围内,组件能够正常工作,饱和输出功率大于40 dBm.