基于纳米连接的互连结构的电/力学性能研究进展

• 作者: 任笑莹 崔健磊 陆洋 梅雪松
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 光学制造 纳米连接 冷焊 激光诱导等离子体 电学性能 力学性能
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题三 三维跨尺度纳米操作和激光可控纳米连接的工艺技术与装备及应用|Task 3 Processing Technology , Equipment and Applications of Three-Dimensional Trans-Scale Nano Manipulation and Controllable
• 页码范围: 234-249
• 页数: 16页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802021

摘要

纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一.稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力学性能及电学性能对于预测电子器件的失效模式至关重要.本文结合目前不同纳米连接技术及连接界面的特点,对不同材料从单纳米焊接接头到宏观互连结构的电/力学性能特征进行了总结与展望,通过对互连结构焊接及变形机制、焊接强度、疲劳特性及电学性能的探讨,展现了激光诱导等离子体自限性低温焊接在未来纳米器件及柔性电子器件制造中的巨大潜力.