微型石英晶体谐振器电极激光加工温度场仿真分析

• 作者: 方豹 辜志强 吴彦霖 李刚炎
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 关键词: 石英晶体谐振器 温度场仿真 激光加工
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 26-28,32
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6413.2021.03.009

摘要

以石英晶体谐振器电极银层的激光刻蚀调频加工过程为研究对象,综合考虑了被加工材料的热物理参数和相应边界条件,利用ANSYS有限元软件仿真模拟了脉冲激光刻蚀加工过程中谐振器电极银层温度场分布情况,分析了不同激光加工工艺参数对材料温度的影响.分析结果表明,温度随与热源中心距离增加而减小,温度场呈近似椭圆形扩散,最高温度随激光加工功率、激光脉冲宽度的增大和加工速度的降低而增加.通过与实验结果的比较验证了仿真结果的正确性,为实际加工的工艺参数选取提供了理论参考.