双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究

• 作者: 冯鹏 唐锋 王向朝 卢云君 徐静浩 郭福东 张国先
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 测量 点衍射 针孔点衍射 波像差检测 干涉测量
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量|Measurement and Metrology
• 页码范围: 105-112
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0904002

摘要

提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点.设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差.分别搭建了双孔点衍射干涉和双光纤点衍射干涉的实验装置,完成了对设计波像差小于0.045λ RMS,5×透射式投影物镜的检测实验.实验结果表明,与双光纤点衍射干涉仪对比,双孔点衍射的波像差测量相对误差为0.07 nm RMS,且干涉图具有更加良好的光强均匀性.验证了本文检测技术的有效性.