浅析微机电系统的发展与应用

• 作者: 李霄霄
• 来源期刊: 中国科技纵横
• 关键词: 微机电系统 发展 应用
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 信息技术与应用
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 分类号: TP311
• 语种: 中文

摘要

微机电系统是将微电子技术和机械工程融合到了一起,开辟了一个全新的科学技术领域,而这个技术也对国家的科技发展和国防安全等起到非常关键的作用.它可以满足人类社会实现低能和高效、以及保护环境的愿望,并且MEMS在现实生活中的一些潜在的应用,日后都将给一个国家的经济和安全带来巨大的影响.