Rubbing工艺微观缺陷检测与效率提升

• 作者: 胡鹏 王晓峰 寇建龙 罗天月 刘凯祥 王文浩 尤雷 付正德 孙慧
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2021,（16）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

星型破损是TFT-LCD行业的摩擦配向工艺(Rubbing)顽固不良,特别在10.5代线人眼检查检出率<10％,成本Loss极高.由于不良缺陷在0.5～10mm之间,基板图案复杂干扰点多,常规图像面检查,过检率高,达不到使用目的.本文通过特殊的粗/精定位图像二值化处理方法,对玻璃基板微观缺陷的密集的显示区进行提取,将缺陷检出率提高到99.7％,过检率降低到平均2.4％.首次将AOI光学检查方案成功导入Rubbing微观缺陷捕捉领域,同时对缺陷进行判断分类,优化了设备稼动,误检引起的停机时间由2.3％减少到0.5％.