金属氧化物半导体气体传感器改性研究进展

• 作者: 璩光明 杨莹丽 王国东 杨林林
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 金属氧化物半导体 气体传感器 掺杂 修饰 复合 性能提升
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与评论|Survey & Review
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)02-0001-04

摘要

金属氧化物半导体气体传感器在环境空气质量监测、有毒有害气体检测以及某些疾病初步诊断等方面具有良好的应用价值与潜力.综述了近些年针对提升金属氧化物半导体气体传感器性能的改性研究进展,从对本体材料掺杂、修饰以及复合等多方面探讨改性措施对金属氧化物半导体气体传感器性能的改善提升作用,并展望了金属氧化物半导体气体传感器未来的发展方向.