基于标准平面镜的双目偏折术系统标定

• 作者: 熊兆华 赵文川
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 机器视觉 双目相位偏折术 系统标定 相机标定 标准平面镜
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量|Opto-Electronic Measurement
• 页码范围: 25-33
• 页数: 9页
• 分类号: O435
• 语种: 中文

摘要

相位偏折术中,系统标定精度对面形测量精度具有决定性的影响.采用带标记点标靶进行标定时,由于其表面不是理想平面而引入误差,导致虚像姿态求解不精确,进而影响标定精度.通过使用高精度的标准平面镜作为反射镜,从初始系统参数开始,采用交替方向优化的方法实现系统几何参数的标定,提高了标定精度,同时避免了变量过多导致的矩阵病态问题.使用该方法对双目相位测量偏折系统进行标定后,对100 mm 口径的标准平面镜进行了对比测量.由测量面形可知,该方法可显著降低测量均方根误差和低频面形误差.相比于传统带标记点标靶的方法,有效提高了标定的精度和稳定性.