石英玻璃片的化学抛光工艺研究

• 作者: 汤英童 杨长城
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 亚表面损伤层 化学抛光 表面粗糙度 工艺
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件|Material and Devices
• 页码范围: 159-164
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文

摘要

石英玻璃是紫外光刻、激光核技术等精密光学系统的关键光学元件.石英玻璃在加工过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等缺陷问题,化学抛光能有效消除石英玻璃的亚表面损伤.介绍了石英玻璃片的化学抛光工艺原理和过程,利用正交实验法优化了石英玻璃化学抛光工艺参数,分析了化学抛光过程中抛光液成分、抛光液温度和抛光时间对石英玻璃片表面粗糙度的影响.实验结果表明,采用氟化氢铵、水和丙三醇配置的化学抛光液,在最优化的工艺参数时,石英玻璃片经过化学抛光,表面粗糙度可降到100 nm左右,可见光透过率最高可达到89％.为石英玻璃光学零件的化学抛光工艺提供了理论依据和技术支持.