基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性

• 作者: 耐日嘎 马俊 王园园 豆亚稳 吕海涛 钱莉荣 李翠平
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 Sc掺杂氮化铝(AlN) 6H-SiC 相速度 机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TN713|O429
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2022.01.002

摘要

该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6 H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6 H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化.结果表明,IDT/ScAlN/6 H-SiC结构的机电耦合系数可达到5.4％,对应的相速度为6.36 km/s,添加短路金属后,机电耦合系数值和相速度均有所提高,Metal/ScAlN/IDT/6 H-SiC结构下优化的机电耦合系数和相速度分别为15.78％和7.33 km/s.