单晶LNBAW谐振器有限元仿真研究

• 作者: 张沂 孙延龙
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂(LN)单晶薄膜 固态反射型 有限元 机电耦合系数 谐振器
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN384|TN65
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2022.01.006

摘要

利用离子注入剥离法(CIS)制备的铌酸锂(LN)压电薄膜可用于制备体声波(BAW)器件,近年来备受关注.滤波器的指标与谐振器的性能密切相关,但基于LN单晶薄膜的BAW谐振器,对其结构的仿真优化还未有较深入的报道.该文以LN单晶薄膜为核心压电层材料,构建了固态反射型(SMR)单晶薄膜谐振器有限元仿真模型,对其压电层厚度和布喇格反射层厚度进行了设计,并重点针对谐振器上电极的台阶结构进行了二维模型仿真,为高频LN BAW滤波器的制备提供了理论依据.